THA3M主動減振器

產(chǎn)品特性：

· THA3M系列主動減振器采用金屬彈簧作為被動隔振單元，搭配不同推力的音圈電機，適用于微動平臺及動平臺。

· 手動水平調(diào)節(jié)方式升級，無需繁雜拆裝，輕松快捷調(diào)平;采用地面前饋、運動前饋及反饋控制技術(shù)，進行6自由度振動主動控制，對地面低頻振動，平臺運動帶來的振動具有極佳的衰減能力，適用于超精密設(shè)備減振:

· 采用先進的智能控制算法，兼顧減振性能和魯棒性。可靠性高抗干擾能力強，適用于各類環(huán)境，無需頻繁調(diào)整即可保持最優(yōu)性能。

· 友好的人機交互界面，無需專業(yè)知識，一鍵啟動減振。向用戶開放調(diào)試通道，便于追求極致性能的用戶自行調(diào)試。

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)說明：

產(chǎn)品用途：

晶圓檢測設(shè)備、光刻設(shè)備、半導體檢測設(shè)備、高精度運動平臺等