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· 結構緊湊,布置距離可調,在6英寸尺寸范圍內設計了高效的減振結構,在最大程度上利用了尺寸空間,使得執(zhí)行器力矩最大化。
· 小尺寸的模塊化的主動減振器,使得SEM電鏡內置主動減振成為可能。
· 可按需求實現(xiàn)靈活多變的布局/安裝方式,如內置于設備中,置于設備地腳下,可以構建出各種尺寸和類型的主動減振系統(tǒng),以滿足不同應用場景的需求。
· 6自由度振動信號實時檢測,執(zhí)行器提供推力,主動衰減振幅;